中国科学院上海微系统与信息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的国立中央研究院工程研究所，是我国最早的工学研究机构之一。2001年8月，根据科研领域和科技发展目标的调整，更名为中国科学院上海微系统与信息技术研究所（以下简称上海微系统所）。
上海微系统所现有集成电路材料、传感技术、微系统技术三个国家 级重点实验室，有无线传感网与通信、太赫兹固态技术两个中科院重点实验室，并依托上海微系统所成立了中国科学院超导电子学卓越创新中心。目前设有传感技术、纳米材料与器件、太赫兹固态技术、微系统技术、宽带无线通信、硅基材料与集成器件、超导电子学、仿生视觉系统、前沿实验室（2020 X-Lab）等九个研究室。
上海微系统所是国务院学位委员会批准的首批博士、硕士学位授予单位之一，设有电子科学与技术、信息与通信工程两个专业一级学科博士/硕士研究生培养点，材料物理与化学专业二级学科博士/硕士研究生培养点，有电子科学与技术、材料科学与工程两个专业一级学科博士后流动站。
“十四五”期间，微系统所将面向世界科技前沿、面向国家重大需求、面向经济主战场、面向人民生命健康，强化国家战略科技力量的使命担当，不忘建设百年强所的初心，在后摩尔集成电路技术及其应用领域，拉长板，补短板，打造策源型原始创新基地、技术创新高地和紧密耦合型协同创新体系，学术思想产生国际影响、关键技术满足国家需求、协同体系贡献经济发展，成为微系统与信息技术领域不可替代“四个一流”的国立研究机构。